設(shè)備特點(diǎn)：
1機(jī)臺(tái)核心零部件光學(xué)機(jī)頭采用日本進(jìn)口奧林巴斯顯微鏡，光柵尺采用高精度0.1um分辨率，整機(jī)經(jīng)過(guò)嚴(yán)格，規(guī)范的組裝和調(diào)試，整機(jī)在24小時(shí)恒溫間內(nèi)經(jīng)30小時(shí)不間斷運(yùn)行負(fù)載測(cè)試。
2、工作臺(tái)裝配工藝，保證機(jī)器空間測(cè)量高精度。
3、高牌號(hào)鑄鐵工作臺(tái)，經(jīng)過(guò)嚴(yán)格熱處理時(shí)效，長(zhǎng)期使用保證基準(zhǔn)面不變形。
4、采用山東濟(jì)南青“00”級(jí)花崗石底座、支柱，保證機(jī)械系統(tǒng)極高的穩(wěn)定性。
